福建省廈門(mén)市集美區(qū)杏林灣營(yíng)運(yùn)中心6號(hào)樓1102室
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?空氣凈化的主要任務(wù)是根據(jù)各種產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、不同工序、各類(lèi)房間的空氣潔凈度等級(jí)需要,采取空氣過(guò)濾技術(shù)措施將潔凈室內(nèi)空氣中懸浮的粒狀或化學(xué)分子污染物質(zhì)到允許的濃度下。潔凈室內(nèi)的污染源主要
潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。門(mén)采用凈化密閉門(mén),窗采用鋁合金玻璃固定窗
風(fēng)管內(nèi)的灰塵經(jīng)過(guò)中效過(guò)濾器的過(guò)濾90%的灰塵,如定期更換中效則風(fēng)管的污染程度要比一般的空調(diào)風(fēng)管好得多,因此風(fēng)管系統(tǒng)的內(nèi)部徹底清潔并不是硬性要求,每?jī)赡昵逑匆淮螌?duì)潔凈度較高的也是可以接受的。又則清洗風(fēng)管時(shí)引起的震動(dòng)會(huì)嚴(yán)重影響無(wú)塵室的塵量和工作氣流要求,因此建議在停工檢修期間施工
無(wú)塵室要有符合環(huán)境、無(wú)塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過(guò)濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時(shí)也依賴無(wú)塵室等級(jí)來(lái)建造。半導(dǎo)體Fabs傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質(zhì)
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